因泰科
半導體工業(yè)
半導體行業(yè)
在許多的高純度領域RHEOTHERM流量計也是一個實際的選擇。
氣體流量
RHEOTHERM流量計的TU傳感器具有一種獨特的設計，流量測量管是一段不能滲透的管材。這種設計也可以選用電解拋光超純管件作為測量管材質。作為一種選項，VCR管件也可以采用軌道對焊而形成流量測量管，傳感器可以直接地焊到管路中。在工廠標定后，傳感器可以在100級清潔屋進行清洗處理。
在一個系統(tǒng)對氣體的測量，或內部貿易的結算，諸如，氬氣、氧氣、甲烷、氫氣及氦氣都在用這種設計進行測量，流速可以是一個SCFM (標準立方英尺/分鐘)的零點幾。如果有需要，流量計可以是本質安全防爆，可以用在CLASS I的所有區(qū)域。
RHEOTHERM的優(yōu)勢：電解拋光接液表面，高純度清潔，具有本安防爆選項。
空氣/氮氣流量測量
有些公司在氮氣管線中使用RHEOTHERM流量計以便工廠內的不同區(qū)域使用氮氣的量都得到了檢測。這些較大的分配管線需要用插入式的探頭，用螺紋接頭安裝。RHEOTHERM流量計之所以被選用是因其可以提供一種可靠的質量或標準體積的流量輸出，而不需要任何外部的壓力或溫度補償。
RHEOTHERM流量計的優(yōu)勢：容易的安裝，質量流量輸出，不需外部信號修正。
拋光液的流量測量
RHEOTHERM流量計被一個半導體公司用做一種工具測量拋光液的
流速。在標定的3-30ml/min的流量范圍內，流量計提供精確的拋光液測量，還可能是一種低流速的繼電器信號用于指示流速減少到非常低的水平。為了保持純度的標準，客戶要求采用電解拋光高純度管作為流量測量管。
RHEOTHERM流量計的優(yōu)勢：對低流速的敏感性，電解拋光管，較低的維護。
